硅片切割胶面崩边问题分析研究

在太阳能领土,硅片分割优点对收获季节和细胞收获季节的直线指责,更多的分割优点成绩将晶圆分割议事程序。,胶面崩边是一种通俗的的成绩。跟随太阳能领土的开展和技术性支持,晶圆优点必要条件更绝对的。本文首要对发作胶面崩边的思考举行了辨析,为了处理这么成绩。

1。引见

脱胶后结晶,或当排序的硅碎片,例会撞见硅片胶面出场次要发亮,硅层呈线式割开崩边的情境,其散布使就座多为胶面倒棱间隔,间或在倒棱中央。胶面崩边是一种较通俗的的硅片缺陷,其指责元素有多种,本文首要从晶棒粘、晶圆分割和预洗涤三动作场的辨析。

2。水晶键合的指责

硅片分割在托盘、易受某人的影响、硅块、按必然术语结婚成晶棒的导杆,晶棒的粘接议事程序和半成品的应用大都市对胶面崩边发作指责,乃,键合术语的用手操作是非常重要的。

以下是水晶键合术语:

(1)预备托盘。盘子是洁净的,确保托盘外表变干净,无灰,托盘夹紧部无词的变形,反省托盘扭条件松动。,无论是钢板结婚面条件润滑,托盘与钢板暗中有差距?。

(2)席易受某人的影响的准备。反省条件平坦的的毛易受某人的影响外表,失去嗅迹所非常不要用席膏;突出的边沿平坦的,一定尺寸的合格,话说回来,按照易受某人的影响托盘的情境,赴和跺脚的易受某人的影响正面,为了便于易受某人的影响棒的正确赴。用含酒精的饮料和胶粘纸托盘和易受某人的影响外表的变干净。

(3)用黏液粘接易受某人的影响的准备。用于环氧树脂胶。继后整整聪明的混合重胶,颜色平坦的,无狡猾的色差。,每回预备的加在一起不那么多。,撤销环氧树脂被过长的表露在空气中。

(4)粘接易受某人的影响。结果却在独一洁净的公寓预备财产黏液,擦胶尽量平坦的地,要不,富余的黏液会流到托盘;话说回来在对buckl粘接面粘接面托盘,用力压紧,暗中的易受某人的影响和铝使冒泡的挤压,赴赴线的易受某人的影响侧。(平生沙化革囊的易受某人的影响和托盘使就座发作)。

(5)继后一段时期的医疗,贴在易受某人的影响托盘一定尺寸的赴。

(6)准备硅块。选择块到硅键合,硅块音长在类似使就座上的使就座。用含酒精的饮料和卡纸块硅与易受某人的影响结婚面。

(7)粘接硅块。准备的黏的黏液平坦的地涂在易受某人的影响,压舌板,在平坦的散布的易受某人的影响胶,将易受某人的影响托盘粘在每个夹具赴中枢上。,把硅块的黏附面放在易受某人的影响上。,控制键前后,将空气,话说回来把分量扩大。测核算水晶棒的总音长,类似组硅块两端的音长是划一的。。

(8)刮胶。在硅和易受某人的影响的接口会挤压慷慨的谷氨酸盐结婚后,黏液会指责切削,应在黏液合并前,你需求抛弃它。。去除分量的时期柔韧的,免得空白皇太后人体细胞很不轻易灭绝充分的长。擦胶的外表,与导杆10o-30o角一致动作,易受某人的影响导直角。更,在硅块正面,发作在托盘也可以粘点,需求擦洁净。

(9)粘接导杆。键合硅块在重装填下30min后去除,单方在硅外表上辨别贴2块,两条胶带的间隔量导杆的宽度,胶带胶涂,话说回来贴在导杆。

(10)合并。好的黏性的合并硅块需求4个多小时来W。

在晶棒的粘接术语,指责胶面崩边的元素有:

(1)席易受某人的影响席外表是不平坦的的,外表粗糙度的指责,话说回来硅粘接理由的指责,排队崩边。

(2)胶的粘接硅块的DOE的粘接紧张和冷酷,钢线经过硅块粘接外表时,受应力功能发作胶面崩边。通俗地,黏液合并后的冷酷和冷酷近似额硅自身。,关切粘接紧张的指责。

(3)人造丝混合,结婚紧张的指责;或更多的胶一次,理由胶使经得起考验前粘接硅块,黏液粘接硅块易变的差的后,黏液散布不平坦的,粘接理由差。。

(4)不平坦的刮胶,胶的厚度散布不平坦的,成层景象,分割至出刀使就座时会排队胶面崩边,硅片断裂景象认真。。

(5)粘接硅块后,黏液气泡,使冒泡不克叠加,则会理由胶面崩边。

(6)刮胶不洁净。鉴于S上的硅键硅块会有黏液。,在硅块安博倒棱参加剩余额,免得残留的胶擦不洁净,当分割刀的完毕,鉴于分割发作的热量使压制变差。,对钢线的携砂容量的指责,鉴于独一大活结,分割容量缺乏,发作胶面崩边。

(7)层厚。在分割议事程序中发作的即溶饮料高温使T,为了缩减钢线的承载容量,扩大刀线的弓和刀边瞥见,而突出的边沿锯痕的摩擦功能会发作胶面崩边,乃胶层越薄越关切缩减胶面崩边的发作。

(8)对键合气文雅的湿度的指责。鉴于气文雅的湿度会指责胶使经得起考验,话说回来黏液粘接理由的指责,乃,不得已采用办法誓言粘接湿润的室。。

三.锭分割理由

硅片分割议事程序是由钢线和Morta完成或结束,迫击炮由金刚砂和切削液结合。,具有必然的粘度和密度。,但现实理由是分割金刚砂颗粒。。钢线缠绕在分割室排队直接地秘密引线轮,分割议事程序中,迫击炮在高速公路旋转,因从延缓功能的迫击炮浆口避开,跟随钢线的旋转,硅块上的指责摩擦,鉴于金刚砂的莫氏冷酷,硅的摩氏冷酷为7,冷酷大于金刚砂的冷酷。,为了起到分割的功能。

为了折扣开采成本,已变成眼前小切薄钢线交易的开展趋势。,但鉴于钢线直径较小,承载容量将受到指责;另一动作场,槽折扣,出片数增加,切削面积增大,它还会加深金刚砂的磨损和破败。,为了折扣迫击炮的分割容量。特别分割刀的使就座。,金刚砂的圆角,为了更多的或附加的人或事物折扣切削容量,不可推卸会有弓形线(普通,线弓37)。钢线分割至硅结婚面将阅历三种O,即硅块、黏附剂层和易受某人的影响,鉴于三钢线媒体应力使某物碎裂后确切的冷酷,鉴于硅落,发作胶面崩边。具有确切的熔点媒体等三种,分割议事程序中发作的低文雅的热量会使黏附剂层和易受某人的影响压制,钢线的承载容量的指责,刀锯。,理由发作胶面崩边。

计划此成绩,可以采用的办法:

(1)调节器刀具术语,提早折扣工作台的周转率一刀分割硅派系,这关切迫击炮以环连结的扩大。,当作切削迫击炮的成绩。

(2)鉴于刺周转率慢速的,免得迫击炮流量太大,迫击炮使泛滥排队的指责力轻易使钢线崩开排队胶面崩边,迫击炮的流量在刀应缩减。

(3)增进切削刀的容量在迫击炮,这可以经过花样翻新迫击炮的塑造来获得的。通常,迫击炮花样翻新在每个锯分割的硅片完毕后,为了扩大后迫击炮的分割容量,咱们可以选择在每个花样翻新砂锯分割90%,为了可以全然缩减弓形线刀,缩减对钢线力刀和锯。

4。预洗涤理由

预洗议事程序是从易受某人的影响上的硅割开,去除胶带外表,首要步调是使分裂为原子使分裂为原子超声波洗涤洗涤脱胶。此议事程序对胶面崩边发作指责的元素包孕:

(1)水使分裂为原子。在使分裂为原子罐安博有两排炮口喷淋洗涤R,鉴于硅碎片作为黏稠的一面挂在预洗涤,免得炮口压力大于正常,作乐钢锭的指责,会排队硅片胶面崩边的发作,乃,为了确保在必要条件的扣押内的水压力。

(2)水温的指责。高温脱胶罐,黏性的没完整压制。,碎片不克自动行为割开,胶面,职员们会用手把硅片压下来。,极易排队硅片崩边。乃,不得已誓言脱胶气温,普通应用哺乳脱胶时,气温扣押为70。。更,当从酒量大的人的碎片洗涤槽浸渍,免得水温太低,碎片从高温水气温高到,碎片外表会鉴于气温应力造成,硅片的磁性扩大,易排队胶面崩边。

(3)鉴于眼前配电网通常是硅片分割,每个水晶通常有两片硅块,乃,在预洗涤议事程序中,碎片将下降到阻碍小的一侧,这么议事程序会理由发作胶面崩边。计划此,可制成匹配碎片一定尺寸的的一定尺寸的。,预洗涤肉体的在晶棒夹在中央,当倾角低硅帐篷,撤销发作胶面崩边。

5。总结

经过对发作胶面崩边的元素举行辨析,可以能力更强的地处理胶面崩边成绩,对增进硅片的合格率的重要意义。

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